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J-GLOBAL ID：200903049720235492

寸法測定装置及び寸法測定方法

Inventor： 上久保 貴司 ,  阿部 隆幸 ,  安瀬 博人 ,  清水 みつ子 ,  大木 進
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997252349
Publication number (International publication number)：1999094531
Application date： Sep. 17, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】チャージアップの影響の無い測定を可能とし、さらに測定倍率を低倍率に変更した場合の画素分解能の低下による寸法測定値の変動を抑える。【解決手段】寸法測定を開始する時間をチャージアップの緩和時間より長くし(22)、それぞれの寸法測定で電流密度×測定時間を一定となるように測定時間を制御して(23)寸法測定を複数の電流密度によって寸法測定を行う(21)〜(26)。また、この測定で得られた電流密度と寸法値の関係に基づいて外挿処理により電流密度0における寸法値を算出し、この電流密度0における寸法値を寸法測定対象の寸法値とする(27)。また、この外挿処理による電流密度0における寸法値の算出を複数の測定倍率について行い、各測定倍率の電流密度0における寸法値の差を倍率変化による寸法変動値として記憶し、この記憶された寸法変動値を用いて各測定倍率間の寸法変動を補正する。

Claim (excerpt)：

寸法測定対象に対して電子線を照射するとともに走査し、該寸法測定対象から放出される2次電子又は反射電子を検出する走査電子顕微鏡を用いた寸法測定装置において、寸法測定を開始する時間を電子ビームの照射開始時からチャージアップの緩和時間経過後に設定する測定開始時間設定手段と、寸法測定に使用する複数の電流密度に対して電流密度×測定時間が一定となるように測定時間を制御する測定時間制御手段と、前記測定開始時間設定手段と測定時間制御手段により設定された条件に従って異なる電流密度で複数回の寸法測定を行う寸法測定手段と、前記寸法測定により得られた電流密度と寸法値の関係に基づいて外挿処理により電流密度0における寸法値を算出する寸法値算出手段とを具備してなることを特徴とする寸法測定装置。

IPC (2)：

G01B 15/00 ,  H01L 21/66

FI (2)：

G01B 15/00 B ,  H01L 21/66 J