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J-GLOBAL ID：200903049744840249

アルキル化したアミノアルキルピペラジン界面活性剤およびフォトレジスト現像剤におけるその使用

Inventor： ケビン ロドニー ラッシラ ,  リチャード バン コート カー ,  クリステン エレイン ミニチ
Applicant, Patent owner： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000312305
Publication number (International publication number)：2001175005
Application date： Oct. 12, 2000
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、平衡および動的表面張力を低下させる水性組成物、とくに塗料、インク、貯蔵液、接着剤、ならびに農業用およびフォトレジスト現像用/エレクトロニクス洗浄用の組成物を提供する。【解決手段】 式【化1】(ここでR1 およびR2 の1つはC5〜C14のアルキルもしくはシクロアルキル基であり、残りはHであるか、またはR1 およびR2 の両方がC5〜C8のアルキル基であり、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるアルキル化したアミノアルキルピペラジン化合物を表面張力を低下させる量で配合してなる。

Claim (excerpt)：

界面活性剤を含有する水性フォトレジスト現像剤組成物において、界面活性剤として、式【化1】(ここで、R1 およびR2 の1つはC5〜C14のアルキルもしくはシクロアルキル基であり、残りはHであるか、またはR1 およびR2 の両方がC5〜C8のアルキル基であり、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるアルキル化したアミノアルキルピペラジン化合物を使用することを特徴とする現像剤組成物。

IPC (6)：

G03F 7/32 ,  C11D 1/40 ,  C11D 3/20 ,  C11D 3/26 ,  C11D 17/08 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/32 ,  C11D 1/40 ,  C11D 3/20 ,  C11D 3/26 ,  C11D 17/08 ,  H01L 21/30 569 E

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭60-131535
  
• 特開昭62-050831