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J-GLOBAL ID：200903049747975498
基板用処理液の脱気装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
五十嵐 孝雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995346459
Publication number (International publication number)：1997162118
Application date： Dec. 11, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 温度調節機能を有する脱気装置を提供する。【解決手段】 液体の透過を防止しつつ気体の透過を許容する気体透過膜で区切られた流路に沿って処理液と温水とをそれぞれ流動させるための気体透過管46を設ける。そして、温度調節器50によって気体透過管46に供給する温水の温度調節を行なうとともに、気体吸引ポンプ70によって温水中から気体を吸引する。
Claim (excerpt)：
基板用の処理液を脱気する装置において、液体の透過を防止しつつ気体の透過を許容する気体透過膜で区切られた流路に沿って処理液と温水とをそれぞれ流動させるための気体透過管を設け、前記気体透過管に供給する温水の温度調節を行なうとともに前記温水中から気体を吸引する、ことを特徴とする基板用処理液の脱気装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 569 E
, B01D 19/00 H
