Pat

J-GLOBAL ID：200903049772919578

角速度センサ

Inventor： ローラン コシャール ,  ピエール ジャネン
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993176597
Publication number (International publication number)：1994160409
Application date： Jul. 16, 1993
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 廉価で精度の高い角速度センサを提供すること。【構成】 2つの加速度センサ(1、2)を回転円板(6)上に配設する。回転軸に対し垂直な軸線を中心とする回転で、加速度センサにはコリオリの力が作用する。加速度センサ(1、2)は、角速度センサの特に正確な校正及びスケーリングを可能にする測微機械的シリコン加速度センサとして構成される。

Claim (excerpt)：

第1の軸線(3)を中心に円形路上で運動する少なくとも1つの加速度センサ(1、2)を含み、該加速度センサ(1、2)は別の2つの軸線(4、5)を中心とする回転により現れるコリオリの力を測定し、前記3つの軸線が互いに垂直に位置する角速度センサにおいて、前記加速度センサ(1、2)を部分的にシリコンから構造化されて作製されていることを特徴とする角速度センサ。