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J-GLOBAL ID：200903049788135429
レジストの金属低減化方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991176550
Publication number (International publication number)：1993019463
Application date： Jul. 17, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 レジストに含まれる金属の量を少なくする。【構成】 レジストを、20°Cにおける水に対する溶解度が100g/cc以下である有機溶媒に溶解し、その溶液を水または酸性水溶液と接触させて液々抽出する。【効果】 処理前のレジストに含まれているナトリウム、鉄、カルシウム、ニッケル、クロムなどの金属を大幅に減少させることができる。
Claim (excerpt)：
レジストを、20°Cにおける水に対する溶解度が100g/cc以下である有機溶媒に溶解し、その溶液を水または酸性水溶液と接触させて液々抽出することを特徴とするレジストの金属低減化方法。
IPC (3)：
G03F 7/022
, B01D 11/04
, G03F 7/26
Cited by examiner (6)
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