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J-GLOBAL ID：200903049801632801

微小異物除去装置

Inventor： 岩崎 元明 ,  松尾 純一
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996165546
Publication number (International publication number)：1998012581
Application date： Jun. 26, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 薬液や、超純水を使用する洗浄工程を不要としてコストダウンを図ると共に効率のよい微小異物除去を提供する。【解決手段】 板状部材の表面に外径が気密状態で、かつ移動可能に支持された複数のノズルと、この複数のノズルの先端から前記板状部材に向かって所定の圧力の気体を吹付ける気体供給手段と、前記複数のノズルの夫々に対応して設けられた吸引孔と、この吸引孔を介して前記気体を吸引する気体吸引手段と、を備えている。

Claim (excerpt)：

板状部材の表面に外径が気密状態で、かつ移動可能に支持された複数のノズルと、この複数のノズルの先端から前記板状部材に向かって所定の流量の気体を吹付ける気体供給手段と、前記複数のノズルの夫々に対応して設けられた吸引孔と、この吸引孔を介して前記気体を吸引する気体吸引手段と、を備えたことを特徴とする微小異物除去装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 5/00

FI (3)：

H01L 21/304 341 G ,  H01L 21/304 341 N ,  B08B 5/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公昭50-034861
  
• 特公昭60-018233
  
• 特開平1-225125