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J-GLOBAL ID：200903049898101945

ウェーハ保護テープ

Inventor： 石川 俊彦 ,  片桐 恭
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999141382
Publication number (International publication number)：2000331968
Application date： May. 21, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】加工時や搬送時におけるウェーハの破損を防止し、また、搬送時における取り扱いが容易なウェーハ保護テープの提供。【解決手段】弾性力を有する第1シートBと強度を有する第2シートDの2つのシートによってウェーハ保護テープTを構成する。ウェーハWに形成されている凹凸xは、弾性力を有する第1シートBによって吸収し、ウェーハWの自重による反りは第2シートDで保持する。これにより、加工時や搬送時におけるウェーハの破損を防止することができるとともに、搬送時におけるウェーハWの取り扱いが容易になる。

Claim (excerpt)：

平面加工装置でウェーハの一方面を加工する際に該ウェーハの他方面に貼着されるウェーハ保護テープにおいて、前記ウェーハの他方面に貼着され、該ウェーハに形成されている凹凸に倣って変形し、該凹凸を吸収可能な弾性力を有する第1シートと、前記第1のシートに貼着され、前記ウェーハの自重による反りを防止可能な強度を有する第2シートと、からなることを特徴とするウェーハ保護テープ。