パターン形成方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001157209
Publication number (International publication number)：2002083765
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】レジストマスクと、そのレジストマスクに溶解を生じさせて広がる方向に変形させたレジストマスクとの2つのレジストパターンを用いて製造工程削減を図る方法があるが、変形レジストマスクの溶解変形時において、レジストの広がりの大半はその広がりを制御されることなく広がってしまうという欠点があった。【解決手段】変形レジストパターン48の近傍に予め凹部7を形成しておき、その凹部7の障壁部により変形レジストパターン48の広がりを堰き止めることにより、その変形レジストパターン48の変形を誘導、抑制、制御することで、目的とするレジストパターン及びそのパターンを利用した薄膜トランジスタを形成出来る。

Claim (excerpt)：

基板上に塗布膜を塗布した後に前記塗布膜をパターニングして塗布膜パターンとし、続いて前記塗布膜パターンを変形させて前記塗布膜パターンを広げることにより前記塗布膜パターンの変形パターンを形成するパターン形成方法であって、前記塗布膜パターンを変形させるときの前記塗布膜パターンの広がりが、その広がり方向の少なくとも一部に形成され、かつ、前記塗布膜パターンがその広がる方向に対して最初に遭遇する障壁部により堰き止められ、前記変形パターンのうち、前記塗布膜パターンが前記障壁部に向かって広がった部分の形状は、前記障壁部の前記塗布膜パターン側の平面形状により決定されることを特徴とするパターン形成方法。

IPC (7)：

H01L 21/027 , G03F 7/40 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/3065 , H01L 21/3205 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (7)：

G03F 7/40 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 570 , H01L 21/88 B , H01L 29/78 616 L , H01L 29/78 627 C , H01L 21/302 J

F-Term (58)：

2H096AA25 , 2H096HA05 , 2H096HA11 , 2H096JA04 , 5F004AA09 , 5F004DA18 , 5F004DA22 , 5F004DA29 , 5F004DB01 , 5F004EA01 , 5F004EA26 , 5F004EB01 , 5F004EB02 , 5F033HH05 , 5F033HH07 , 5F033LL04 , 5F033MM05 , 5F033MM26 , 5F033QQ08 , 5F033QQ10 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ26 , 5F033VV01 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX24 , 5F033XX33 , 5F046AA28 , 5F046DA02 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE24 , 5F110EE37 , 5F110EE50 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG23 , 5F110GG24 , 5F110HK02 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HM04 , 5F110HM12 , 5F110NN02 , 5F110NN24 , 5F110QQ01 , 5F110QQ02 , 5F110QQ03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

レジストパターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-005581 Applicant：日本電気株式会社
レジストパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-125572 Applicant：沖電気工業株式会社
薄膜トランジスタ基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-003209 Applicant：株式会社東芝

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