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J-GLOBAL ID：200903049929222320

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  山近 幹雄 ,  村田 誠 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992346561
Publication number (International publication number)：1994194841
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】 (A)下記式(1)【化1】で表わされる繰り返し単位と下記式(2)【化2】で表わされる繰り返し単位を有する重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 各種放射線に対して有効に感応して、0.5μm以下の微細加工を安定的に行うことができ、高感度かつ高解像度で、パターン形状、現像性、接着性、リソグラフィプロセス安定性なども優れたものである。従って、今後さらに微細化が進むと予想される集積回路を製造するためのレジストとして極めて有効である。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)【化1】(ここで、R1は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR2は同一または異なり、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示し、R3は第3級アルキル基を示す)で表わされる少なくとも1種の繰り返し単位と下記式(2)【化2】(ここで、R4は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR5は同一または異なり、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示す)で表わされる少なくとも1種の繰り返し単位とを含有する重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027