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J-GLOBAL ID：200903049931005205

表面抵抗および複素誘電率測定用治具ならびにその測定系構成方法

Inventor： 石川 容平 ,  谷崎 透 ,  西田 浩 ,  斉藤 篤 ,  塚井 紀充
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 小笠原 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995023151
Publication number (International publication number)：1996220160
Application date： Feb. 10, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 簡易に測定することができる表面抵抗および複素誘電率測定用治具を提供することである。【構成】 治具10Aは、金属板1A,1Bを所定の間隔で平行に支持している。標準共振器5は、誘電体材料で形成され、金属板1A,1Bの表面抵抗測定時に金属板1A,1B間に実装される。また、標準共振器5は、共振器51と、共振器51と結合することにより生じる2つ以上の異なる周波数において共振ピークを生成する1つの結合共振器を形成する共振器52とを含んでいる。試料共振器6は、誘電体試料61を含み、誘電体試料61の複素誘電率測定時に金属板1A,1B間に実装される。誘電体試料61の複素誘電率は、標準共振器5により求めた表面抵抗を用いて求める。

Claim (excerpt)：

少なくともその表面が導電材料で形成された一対の導体の表面抵抗と誘電体試料の複素誘電率とを測定可能な治具であって、前記導体を所定の間隔で平行に支持する支持手段と、前記表面抵抗測定時に前記導体間に実装され、誘電体材料で形成された標準共振器と、前記誘電体試料を含み、前記複素誘電率測定時に前記導体間に実装される試料共振器とを備え、前記標準共振器は、第1の共振器と、前記第1の共振器と結合することにより生じる2つ以上の異なる周波数において共振ピークを生成する1つの結合共振器を形成する第2の共振器とを含み、前記標準共振器により求めた表面抵抗を用いて、前記誘電体試料の複素誘電率を求めることを特徴とする、表面抵抗および複素誘電率測定用治具。

IPC (2)：

G01R 27/02 ,  G01R 27/26

FI (2)：

G01R 27/02 R ,  G01R 27/26 T