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J-GLOBAL ID：200903049977602348

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 徳満 洋司 ,  槙野 義行
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997005472
Publication number (International publication number)：1998198955
Application date： Jan. 16, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 保磁力HC のバラツキが小さい磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 トレー21の基板保持部22に基板を保持し、スパッタリング装置内に導入し、プレヒーティングした後、スパッタリングする方法において、トレー21の最下段の基板を上側の基板よりも高い温度にプレヒーティングする。

Claim (excerpt)：

複数の基板保持部を有したトレーの各基板保持部に基板を保持させてスパッタリング装置内に導入し、該基板をプレヒーティングした後スパッタリングして該基板上に下地層、磁性層及び保護層を形成するスパッタ工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、該トレーには高さの異なる前記基板保持部が設けられており、前記スパッタリング装置内においてプレヒーティングする際に、下方の基板保持部の基板を上方の基板保持部の基板よりも高温度に加熱することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3)：

G11B 5/84 ,  C23C 14/02 ,  G11B 5/85

FI (3)：

G11B 5/84 B ,  C23C 14/02 Z ,  G11B 5/85 C