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J-GLOBAL ID：200903050005957993

化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 浜田 貴広 ,  李 東官 ,  宮崎 真治
Applicant, Patent owner： クラリアント ジャパン 株式会社
Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001300457
Publication number (International publication number)：2003107707
Application date： Sep. 28, 2001
Publication date： Apr. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高感度、高解像度を有する化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物において、疎なパターンと密なパターンが混在する回路パターンにおけるレジストの疎密パターンの解像線幅の差を減少させる。【解決手段】 酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂と放射線の照射により酸を発生する化合物からなる化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物において、酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂として、該酸解離性保護基を解離させるための活性化エネルギー(ΔE)が25Kcal/mol以上である樹脂を用い、且つ放射線の照射により酸を発生する化合物として、放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物と放射線の照射によりスルホン酸を発生する化合物の混合物を用いる。

Claim (excerpt)：

(A)酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性保護基が解離したときにアルカリ可溶性となり、その解離させるための活性化エネルギー(ΔE)が25Kcal/mol以上である樹脂、(B)放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物および(C)放射線の照射によりスルホン酸を発生する化合物を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (15)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-229160   Applicant：ジェイエスアール株式会社