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J-GLOBAL ID：200903050046471558

ガス検出素子の製造方法

Inventor： 横尾 明彦
Applicant, Patent owner： 能美防災株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997087309
Publication number (International publication number)：1998267880
Application date： Mar. 24, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡便に扱える酸化第二スズペーストを用いてガス検出素子を製造する。【解決手段】 酸化第二スズを粉砕して、得られた酸化第二スズ粉末をスラリーとして、コロイド状シリカおよび低分子量のポリエチレングリコール(分子量200から600)をそれぞれ所定量添加して液相で混合し、真空凍結乾燥して酸化第二スズペーストを得、所定の基板に塗布し、得られた素子膜を所定の温度で焼成し、感応膜とする製造方法である。その結果、ペーストの取り扱いが簡便となり、マスク板の目詰まりも起こらず、さらに、調整が固液混合系ではなく液液混合系となり、配分等が行いやすい。

Claim (excerpt)：

酸化第二スズを粉砕して、粒径調整された酸化第二スズ粉末を得る第1工程と、上記酸化第二スズ粉末に、コロイド状シリカおよび低分子量のポリエチレングリコールをそれぞれ所定量添加混合し、乾燥して酸化第二スズペーストを得る第2工程と、上記酸化第二スズペーストを所定の基板に塗布し、素子膜を得る第3工程と、上記素子膜を所定の温度で焼成し、感応膜とする第4工程と、を有することを特徴とするガス検出素子の製造方法。