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J-GLOBAL ID：200903050046877880

放射光顕微鏡システムおよび半導体装置から発せられた光の出力画像を拡大しかつ表示するための装置

Inventor： ビクトリア・ジェイ・ブルース
Applicant, Patent owner： アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993011997
Publication number (International publication number)：1993308097
Application date： Jan. 27, 1993
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 改良された放射光顕微鏡システムを提供する。【構成】 放射光顕微鏡システムはさまざまな実施例において反射屈折光学の光学顕微鏡2および/またはコンピュータ自動化光学分散システム8および/または低温冷却バックシンCCDカメラ10を含む。このシステムはまた特別に適用されたソフトウェアを用いるコンピュータ制御されたデータ獲得システムを含む。

Claim (excerpt)：

放射光顕微鏡システムであって、光学サブシステムを含み、前記光学サブシステムは反射屈折光学の光学顕微鏡を含み、前記光学サブシステムは光学画像を出力し、さらに前記光学サブシステムに作動的に結合されて、フォトンがカウントされる間に波長を変化させるためのコンピュータ自動化された光学分散サブシステムと、前記光学サブシステムと前記コンピュータ自動化光学分散装置手段とに作動的に結合されて、前記光学画像を電子画像信号に変換するためのカメラサブシステムと、前記カメラサブシステムと前記コンピュータ自動化光学分散サブシステムとに作動的に結合されて、それらを制御しかつそこから得られたデータを獲得しかつ操作するための処理サブシステムと含む、システム。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-044872
  
• 特開平3-054976
  
• 特開昭64-072540