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J-GLOBAL ID：200903050075495059

レイビル基を有するポリマーを含有する放射線感光性組成物

Inventor： ロジヤー・シンタ ,  リチヤード・シー・ヘモンド ,  デイビツド・アール・メデイーラス ,  マーサ・エム・ラジヤラツトナム ,  ジエイムズ・ダブリユ・サツカリー ,  ダイアン・カニストロ
Applicant, Patent owner： シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 川口 義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992277846
Publication number (International publication number)：1993249673
Application date： Sep. 22, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明はフェノール単位と環式アルコール単位とのポリマー結合剤を有する放射線感光性組成物を提供する。【構成】 ポリマーのフェノール単位及び/又は環式アルコール単位の少なくとも一部は酸レイビル基に結合している。結合剤を酸レイビル基に並程度に置換するだけで、露光領域と非露光領域との間に高い溶解度の差が得られる。

Claim (excerpt)：

樹脂結合剤と活性化放射線に露光されると酸を生成する放射線感光性成分との混合物からなる放射線感光性組成物であって、樹脂結合剤がフェノール単位及び非芳香族環式アルコール単位を有するポリマーからなり、ポリマーのヒドロキシル基の少なくとも一部が酸レイビル基に結合しており、放射線感光性成分の配合量が組成物のコーティングを活性化放射線に露光することにより潜像を生成することが可能な量であることを特徴とする組成物。

IPC (7)：

G03F 7/032 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-087746
  
• 特開平3-107162
  
• 特開平3-107160
  
• 特開平2-103048
  
• 特開平2-018564