形状測定装置、及び光源装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：曾我道照 , 曾我道治 , 池谷豊 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順 , 白石泰三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002175704
Publication number (International publication number)：2004020379
Application date： Jun. 17, 2002
Publication date： Jan. 22, 2004
Summary：

【課題】直線状光源部からの光を効率的に被測定体の形状測定に寄与させるとともに、光軸ずれに対する自由度を確保する形状測定装置、及びその光源装置を得ることを目的とする。【解決手段】形状測定装置1は、LED102が直線状に配列された直線状光源部103と、ここからの光を結像面に結像する撮像部104と、撮像部104からの情報で、直線状光源部103及び撮像部104の間の熱延鋼板105の形状を測定する測定部106とを備えている。形状測定装置1は、直線状光源部103と熱延鋼板105との間に配置された偏光手段6を備えている。偏光手段6は、LED102からの光量をLED102の配列方向に均一化するように偏光する第1偏光面4を有する第1偏光板2と、その配列方向に垂直の方向に光量を均一化するように偏光する第2偏光面5を有する第2偏光板3とを有している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

直線状に配列された複数の発光体を有する直線状光源部と、前記直線状光源部に対向して配置され、前記直線状光源部からの光を結像面に結像する撮像部と、前記撮像部からの情報により、前記直線状光源部及び前記撮像部の間に介在される被測定体の形状を測定する測定部と、前記直線状光源部及び前記被測定体の間に配置され、各前記発光体からの光量を主として前記配列方向に沿って均一化するように前記光を偏光する第1偏光面と、各前記発光体からの光量を主として前記配列方向と異なる方向に沿って均一化するように前記光を偏光する第2偏光面とを有する偏光手段とを備えていることを特徴とする形状測定装置。

IPC (2)：

G01B11/24 , G01N21/892

FI (2)：

G01B11/24 K , G01N21/892 B

F-Term (23)：

2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065BB01 , 2F065BB13 , 2F065CC06 , 2F065DD04 , 2F065DD11 , 2F065EE03 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG07 , 2F065GG14 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2G051AA37 , 2G051AB05 , 2G051BB01 , 2G051BB20 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

発光ダイオードを用いた細長光源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-300846 Applicant：株式会社ニレコ
フィルムレンズ及びそれを用いた面光源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-323214 Applicant：大日本印刷株式会社
表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-034390 Applicant：株式会社東芝

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