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J-GLOBAL ID：200903050125335660

感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性フィルム

Inventor： 清水 建樹 ,  高橋 秀明 ,  ソー ウィン モウ ,  五島 敏之
Applicant, Patent owner： 旭化成株式会社 ,  株式会社ピーアイ技術研究所
Agent (1)： 青木 宏義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007301002
Publication number (International publication number)：2009053646
Application date： Nov. 20, 2007
Publication date： Mar. 12, 2009
Summary：

【課題】基板などへの圧着が可能で、良好な現像性および難燃性を有し、ドライフィルム化時の反り軽減されたポジ型感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】(A)アルカリ溶解性樹脂と、(B)キノンジアジド構造を有する感光剤と、(C)ホスファゼン化合物の少なくとも1つ、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ溶解性樹脂と、(B)キノンジアジド構造を有する感光剤と、(C)下記一般式(1)又は一般式(2)で表されるホスファゼン化合物の少なくとも1つと、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (式中、R1、R2、R3、R4は炭素数3以上20以下の有機基であり、同じであっても異なっていても良い。mは3以上25以下の整数であり、nは3以上10000以下の整数であり、X及びYは、炭素数3以上30以下の有機基である。)

IPC (8)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/023 ,  H05K 3/28 ,  C08G 73/10 ,  B32B 7/06 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/18 ,  B32B 27/34

FI (10)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/023 ,  H05K3/28 D ,  H05K3/28 F ,  C08G73/10 ,  B32B7/06 ,  B32B27/00 L ,  B32B27/18 F ,  B32B27/34

F-Term (82)：

2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB33 ,  2H025CC05 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  4F100AB17 ,  4F100AH02A ,  4F100AH03A ,  4F100AK42 ,  4F100AK49A ,  4F100AL05A ,  4F100AR00B ,  4F100AT00C ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100CA04A ,  4F100GB43 ,  4F100JA07 ,  4F100JB13 ,  4F100JB14A ,  4F100JG04 ,  4F100JJ07 ,  4F100JL04 ,  4F100JL13 ,  4F100JL14B ,  4F100YY00A ,  4J043PA19 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB32 ,  4J043QB33 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA82 ,  4J043SA85 ,  4J043SB01 ,  4J043TA11 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA21 ,  4J043TA22 ,  4J043TA31 ,  4J043TA71 ,  4J043TB01 ,  4J043UA341 ,  4J043UA342 ,  4J043UA431 ,  4J043UA432 ,  4J043WA07 ,  4J043XA13 ,  4J043XA16 ,  4J043XA36 ,  4J043XB17 ,  4J043XB19 ,  4J043YB19 ,  4J043YB21 ,  4J043YB33 ,  4J043YB34 ,  4J043YB42 ,  4J043ZA21 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50 ,  5E314AA27 ,  5E314AA36 ,  5E314BB02 ,  5E314CC15 ,  5E314EE03 ,  5E314FF06 ,  5E314GG11 ,  5E314GG24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 新規ポリイミドおよびポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-032332   Applicant：三井化学株式会社
• 国際公開第2003/060010号パンフレット
  
• 難燃性を向上させた耐熱性樹脂組成物およびその利用
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-204064   Applicant：株式会社カネカ, 大塚化学株式会社
• 感光性樹脂組成物およびそれを用いたドライフィルムレジスト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-106138   Applicant：鐘淵化学工業株式会社

Cited by examiner (3)

• 特表平2-502312
  
• ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-077602   Applicant：住友ベークライト株式会社
• 特開平3-247655