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J-GLOBAL ID：200903050140583238

オゾン含有浄化液、その製造方法及び浄化方法

Inventor：
加藤 昌明

About 加藤 昌明


Applicant, Patent owner：
ペルメレック電極株式会社

About ペルメレック電極株式会社


Agent (1)： 森 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999168269
Publication number (International publication number)：2000355699
Application date： Jun. 15, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：
【要約】【課題】 オゾン水が電子機器洗浄用として広く利用されているが、オゾンの水に対する溶解度が低いため、高濃度オゾンによる洗浄は実施できず、高速化及び高密度化が要請される電子機器産業に十分応えることができなかった。【解決手段】 電解槽1で生成するオゾン含有ガスをハロゲンを含有する有機溶媒10に溶解して生成するオゾン含有浄化液。オゾンの有機溶媒に対する溶解度が高いため、又ハロゲンを含有する有機溶媒自体が浄化能力を有するため、本発明の浄化液は従来のオゾン水と比較して格段の浄化能を有する。更にオゾンが水中よりも有機溶媒中で安定であるため、より長寿命の浄化液が得られる。
Claim (excerpt)：
オゾン含有ガスをハロゲンを含有する有機溶媒に溶解させたことを特徴とするオゾン含有浄化液。
IPC (4)：
C11D 17/08 ,  C11D 7/18 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 647
FI (4)：
C11D 17/08 ,  C11D 7/18 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 647 A
F-Term (7)：
4H003DA14 ,  4H003DA15 ,  4H003DA17 ,  4H003DB03 ,  4H003ED19 ,  4H003EE03 ,  4H003FA27
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 洗浄方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-095086   Applicant：三菱電機株式会社
  • 漂白・脱臭・殺菌方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-182079   Applicant：株式会社白洋舎
  • 洗浄方法および洗浄装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-150608   Applicant：株式会社東芝, ジャパン・フィールド株式会社
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