Pat
J-GLOBAL ID：200903050160649790
ダイヤモンド・ヒートシンクおよびその製造方法
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995198426
Publication number (International publication number)：1996102511
Application date： Aug. 03, 1995
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 高機能で高効率のダイヤモンド・ヒートシンクを安価に提供する。【構成】 Si基板1上に、ノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる絶縁膜2、半導電性の気相合成ダイヤモンドからなる感熱膜3およびノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる支持膜4を順次形成する。次に、Si基板1を除去して裏返し、絶縁膜2の平坦な表面を上面に位置する。次に、この絶縁膜2をパターニングし、露出した感熱膜3上に電極5a,bを形成する。次に、支持膜4に銅の支持台6を銀ろうはんだ7で固着する。
Claim (excerpt)：
ノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる支持膜と、この支持膜の表面に形成された半導電性の気相合成ダイヤモンドからなる感熱膜と、この感熱膜上の所定領域に形成されたノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる絶縁膜と、前記感熱膜上に形成された電極とを備えて形成されたことを特徴とするダイヤモンド・ヒートシンク。
IPC (2)：
Return to Previous Page
