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J-GLOBAL ID:200903050186431920

元素分析法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 上代 哲司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991305082
Publication number (International publication number):1993142200
Application date: Nov. 20, 1991
Publication date: Jun. 08, 1993
Summary:
【要約】【目的】 主成分元素のイオン強度がオーバーフローしてしまう、ppm或はそれ以下の濃度の成分或は不純物元素を検出するような測定条件下においても、主成分元素をオーバーフローすることなく測定可能とする。【構成】 レーザーアブレーションにより固体試料表面の一部を蒸発、原子化しこれをアルゴンキャリアガスで誘導結合プラズマに導入しイオン化し質量分析する方法において、被分析試料が窒化アルミで、誘導結合プラズマがアルゴンプラズマである場合には、Alイオンの代りにArAl複合イオンのイオン強度を測定する。
Claim (excerpt):
誘導結合プラズマ質量分析において発生する分析試料中の少なくとも1つ以上の元素と誘導結合プラズマを形成するガスの複合イオンのイオン強度を測定して、分析試料中の元素分析を行うことを特徴とする元素分析法。
IPC (2):
G01N 27/62 ,  H01J 49/26

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