感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996008708
Publication number (International publication number)：1997197673
Application date： Jan. 22, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【構成】例えば下記式(a)【化1】で表わされる繰返し単位と下記式(b)【化2】で表わされる繰返し単位から共重合体、上記式(b)で表わされる繰返し単位からなる重合体、および感放射線性酸発生剤からなる感放射線性樹脂組成物。【効果】各種放射線に対して有効に感応して、例えばKrFエキシマレーザー光を照射光源とした場合、0.5μm以下の微細加工パターンを0.25μmまでレチクル寸法に対して忠実に安定的に作成できる。従って今後さらに微細化が進と予想される集積回路を製造するために必要なリソグラフィープロセスを安定して行なうためのレジストとして極めて有効である。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)【化1】ここで、R1およびR2は同一もしくは異なり、水素原子または炭素数1〜8のアルキル基であり、R3およびR4は同一もしくは異なり、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数1〜8のアルコキシル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜16のアラルキル基あるいはR3とR4は互いに結合して環員炭素数3〜10の環構造または環員数5〜8の複素環構造を形成していてもよく、そしてnは0または1である、で表わされる繰返し単位と、下記式(2)【化2】ここで、R5は水素原子または炭素数1〜8のアルキル基である、で表わされる繰返し単位から実質的になる共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有し、そして共重合体(A)の繰返し単位(1)および(2)中の繰返し単位の合計1モル当り、繰返し単位(1)が0.05〜0.95モルを占め、かつポリスチレン換算分子量が500以下の低分子成分が上記共重合体(A)中、ゲルパーミエーションクロマトグラフの面積で2%未満であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-148742 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-245299 Applicant：株式会社東芝
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-175861 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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