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J-GLOBAL ID：200903050208680890

インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

Inventor： 西脇 学
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995322657
Publication number (International publication number)：1997156099
Application date： Dec. 12, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】 簡易な配線構造で配線領域の容量付加と信頼性低下の問題を解決し、高品質、高性能のたわみ形インクジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】 弾性膜と下部駆動電極膜10と圧電性膜11と上部駆動電極膜12からなる圧力発生膜から構成される変位領域と前記圧電性膜と上部駆動電極の一端を延引して配線される配線領域とからなり、配線領域は下部駆動電極膜と圧電性膜の間或いは圧電性膜と上部駆動電極膜の間に圧電性膜に比較して薄い低誘電性膜30を介した。

Claim (excerpt)：

列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室を有する加圧室基板、該加圧室基板の片面を覆蓋し前記隔壁により懸架かつ固定され、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜と下部駆動電極膜と圧電性膜と上部駆動電極膜からなる圧力発生膜、各々の前記加圧室に連通するインク吐出ノズルとインク供給孔、から構成される変位領域と、前記圧電性膜と上部駆動電極の一端を延引して配線される配線領域とからなり、前記配線領域は下部駆動電極膜と圧電性膜の間或いは圧電性膜と上部駆動電極膜の間に圧電性膜に比較して薄い低誘電性膜を介したことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。

IPC (6)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24

FI (5)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  C04B 35/49 R ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 A