Pat
J-GLOBAL ID:200903050218742800
シャドーマスクおよびその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997148031
Publication number (International publication number):1998330911
Application date: Jun. 05, 1997
Publication date: Dec. 15, 1998
Summary:
【要約】【課題】マスク法によって薄膜の微細なパターン加工を実現するためのシャドーマスクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】シート状物質に少なくとも1つ以上の開口部が存在するシャドーマスクであって、マスク部分の間に前記開口部を横切るようにして前記マスク部分の厚さよりも薄く、かつ、前記マスク部分と一体化した補強線が形成され、前記マスク部分の少なくとも一方の面と前記補強線との間に隙間が存在することを特徴とするシャドーマスク、および、前記のシャドーマスクの製造方法であって、シート状物質の片面にはマスク部分のパターンに対応したレジストを、他方の面には前記マスク部分に補強線を加えたパターンに対応するレジストを形成し、前記シート状物質を両面からエッチングすることを特徴としたシャドーマスクの製造方法である。
Claim (excerpt):
シート状物質に少なくとも1つ以上の開口部が存在するシャドーマスクであって、マスク部分の間に前記開口部を横切るようにして前記マスク部分の厚さよりも薄く、かつ、前記マスク部分と一体化した補強線が形成され、前記マスク部分の少なくとも一方の面と前記補強線との間に隙間が存在することを特徴とするシャドーマスク。
IPC (5):
C23C 14/04
, C23F 4/00
, G09F 9/00 339
, H01L 21/027
, C23C 16/04
FI (5):
C23C 14/04 A
, C23F 4/00 Z
, G09F 9/00 339 Z
, C23C 16/04
, H01L 21/30 502 P
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (15)
-
特開昭62-202491
-
特開昭62-035498
-
特開平2-094425
-
特開平1-249346
-
電子部品の電極を形成する方法およびそれに用いる装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-276552
Applicant:株式会社村田製作所
-
特開昭64-013152
-
特開平2-002119
-
特開昭53-075858
-
特開昭62-202491
-
特開昭62-035498
-
特開平2-094425
-
特開平1-249346
-
特開昭64-013152
-
特開平2-002119
-
特開昭53-075858
Show all
Return to Previous Page