シャドーマスクおよびその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997148031
Publication number (International publication number)：1998330911
Application date： Jun. 05, 1997
Publication date： Dec. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】マスク法によって薄膜の微細なパターン加工を実現するためのシャドーマスクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】シート状物質に少なくとも1つ以上の開口部が存在するシャドーマスクであって、マスク部分の間に前記開口部を横切るようにして前記マスク部分の厚さよりも薄く、かつ、前記マスク部分と一体化した補強線が形成され、前記マスク部分の少なくとも一方の面と前記補強線との間に隙間が存在することを特徴とするシャドーマスク、および、前記のシャドーマスクの製造方法であって、シート状物質の片面にはマスク部分のパターンに対応したレジストを、他方の面には前記マスク部分に補強線を加えたパターンに対応するレジストを形成し、前記シート状物質を両面からエッチングすることを特徴としたシャドーマスクの製造方法である。

Claim (excerpt)：

シート状物質に少なくとも1つ以上の開口部が存在するシャドーマスクであって、マスク部分の間に前記開口部を横切るようにして前記マスク部分の厚さよりも薄く、かつ、前記マスク部分と一体化した補強線が形成され、前記マスク部分の少なくとも一方の面と前記補強線との間に隙間が存在することを特徴とするシャドーマスク。

IPC (5)：

C23C 14/04 , C23F 4/00 , G09F 9/00 339 , H01L 21/027 , C23C 16/04

FI (5)：

C23C 14/04 A , C23F 4/00 Z , G09F 9/00 339 Z , C23C 16/04 , H01L 21/30 502 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (15)

特開昭62-202491
特開昭62-035498
特開平2-094425

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