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J-GLOBAL ID：200903050224304245

回折光学素子、該素子の製造方法、該素子を備える照明装置、投影露光装置、露光方法、及び光ホモジナイザー、該光ホモジナイザーの製造方法

Inventor： 後藤 明弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000035910
Publication number (International publication number)：2001174615
Application date： Feb. 14, 2000
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】 入射光束を効率良く所定の断面形状を有する光束に変換する回折光学素子などを提供すること。【解決手段】 入射光束を所定の断面形状の光束に変換する回折光学素子において、前記回折光学素子は複数の部分光学素子50から構成され、該複数の部分光学素子は該入射光束を夫々所定の部分光束に変換し、該部分光束の総和が前記所定の断面形状の光束に一致する。

Claim (excerpt)：

入射光束を所定の断面形状の光束に変換する回折光学素子において、前記回折光学素子は複数の部分光学素子から構成され、該複数の部分光学素子は該入射光束を夫々所定の部分光束に変換し、該部分光束の総和が前記所定の断面形状の光束に一致することを特徴とする回折光学素子。

IPC (3)：

G02B 5/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G02B 5/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

F-Term (17)：

2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA31 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA48 ,  2H049AA60 ,  2H049AA63 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23