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J-GLOBAL ID：200903050226579373

有機系塗布ガラスの除去方法

Inventor： 名倉 雅彦
Applicant, Patent owner： ヤマハ株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991319280
Publication number (International publication number)：1993190536
Application date： Dec. 03, 1991
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【構成】 P-SiO膜3上に形成された有機系塗布ガラス4を、酸素プラズマを用いて灰化した後にHF系水溶液でエッチングする。【効果】 有機系塗布ガラスをその下層部分に影響なく除去できる。有機系塗布ガラスの塗布不良に対して、修正、再塗布を行うことができる。

Claim (excerpt)：

有機系塗布ガラスを、酸素プラズマを用いて灰化した後にHF系水溶液でエッチングすることを特徴とする有機系塗布ガラスの除去方法。

IPC (2)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/3205