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J-GLOBAL ID：200903050237859920

位置認識装置

Inventor： 関口 眞吾 ,  大前 昭博
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 強 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993203131
Publication number (International publication number)：1995055429
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 基板のフィジューシャルマークに欠けや大きさのばらつきがある場合でも高精度の位置検出を行う。【構成】 基板のフィジューシャルマーク部分を撮影するITVカメラからの入力画像を処理するための画像処理装置は、入力画像をデジタル化する画像データ生成機能、テンプレート画像Tのデータを記憶するテンプレート画像記憶機能、マッチングによりフィジューシャルマークの位置を検出する位置検出機能を有する。テンプレート画像Tを、中心のフィジューシャルマークに対応した円形の黒領域B、その周囲部に内側から外側に向けて漸次濃度が淡くなるようなグレー領域G、最外周部の白領域Wから構成する。フィジューシャルマークの中心にテンプレート画像Tの中心が近付けば近付くほど相関度が高くなる。

Claim (excerpt)：

基板のフィジューシャルマークを撮影することに基づいて前記フィジューシャルマークの位置を認識する位置認識装置であって、前記フィジューシャルマークを撮影する撮影手段と、この撮影手段による入力画像をデジタル化する画像データ生成手段と、前記フィジューシャルマークに対応したパターンのテンプレート画像を記憶するテンプレート画像記憶手段と、前記入力画像と前記テンプレート画像との相関演算を行いその相関度に基づいて前記フィジューシャルマークの位置を検出する位置検出手段とを具備し、前記テンプレート画像に、前記フィジューシャルマークの縁部部分に対応して内側から外側に向けて漸次変化する濃度階調を表現するようにしたことを特徴とする位置認識装置。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G06T 7/00 ,  H05K 13/04