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J-GLOBAL ID：200903050242518406

光方向ぎめ構造及びビーム方向ぎめ装置を作る方法

Inventor： ウィリアム イー.ネルソン
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993043925
Publication number (International publication number)：1994003607
Application date： Mar. 04, 1993
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 小型、低廉な光方向決め手段を提供する。【構成】 光を方向ぎめする装置及びそれを製造する方法を説明した。好ましい実施例の装置は、基板の上にある多層構造で構成される。基板が撓み得る要素(16)をアドレスして、それを付勢された電極(36)に向けて撓ませる少なくとも1つの電極(36)を有する。撓み得る要素(16)上に少なくとも1つの支持柱(62)があり、これが撓み得る要素(16)の回転軸線(24)に大体沿って位置ぎめされている。反射要素(61)が柱(62)によって支持されていて、第1の要素(16)が撓む時に撓む。第2の要素(62)は第1の要素(16)より範囲がずっと大きい。更に、こう云う装置を製造する方法を説明した。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に接近した少なくとも1つの電極と、該電極がアドレスされた時、当該要素が軸線に沿って電極に向って撓む様に、実質的に電極の上に懸架された第1の要素と、該第1の要素に設けられていて、前記第1の要素の前記軸線に接近して位置ぎめされた少なくとも2つの支持柱と、前記第1の要素が撓む時に当該第2の要素が撓む様に前記柱によって支持された第2の要素とを有し、該第2の要素は前記第1の要素よりも一層大きな広がりを持つ光方向ぎめ構造。

IPC (2)：

G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104