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J-GLOBAL ID：200903050281410990
IC試験装置の較正方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991294711
Publication number (International publication number)：1993133997
Application date： Nov. 12, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】 IC試験装置を較正する際の作業性の向上と、較正確度の向上を図る。【構成】 この発明は、電圧、電流、抵抗測定機能を有する標準器2と、基準抵抗、基準電圧群を有する2次標準器3と、被試験IC4に印加するための電圧、電流発生器5と、各部を制御するコントローラ6とを具備する図1のIC試験装置の較正方法を改良したものである。この発明では、最初に、電圧、電流、抵抗測定機能を有する外部標準器7を2次標準器3に接続して、2次標準器3の基準となる電圧、電流、抵抗を測定し、次に標準器2を2次標準器3に接続し、外部標準器7で測定した2次標準器3の測定値を真値として標準器2を較正する。
Claim (excerpt)：
電圧、電流、抵抗測定機能を有する標準器と、基準抵抗、基準電圧群を有する2次標準器と、被試験ICに印加するための電圧、電流発生器と、各部を制御するコントローラとを具備するIC試験装置の較正方法であって、最初に、電圧、電流、抵抗測定機能を有する外部標準器を前記2次標準器に接続して、その2次標準器の基準となる電圧、電流、抵抗を測定し、次に、前記標準器を前記2次標準器に接続し、前記外部標準器で測定された2次標準器の測定値を真値として前記標準器を較正することを特徴とする、IC試験装置の較正方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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