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J-GLOBAL ID：200903050282848115

投影レンズ倍率補正方法およびその装置

Inventor： 青 木 新 一 郎 ,  中 西 淑 人
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 蔵合 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992016457
Publication number (International publication number)：1993210049
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための投影レンズの倍率を環境が変化しても一定に保つこと。【構成】 投影レンズ1に対して2種類以上の屈折率の異なる例えば窒素ガスとヘリウムガスを投影レンズ1のレンズ間に供給して、圧力センサ19、温度センサ20および環境センサ21からの検出値を投影レンズ倍率補正制御器23に取り込み、計算した結果からバルブ16,17を制御して投影レンズ1内のガスの混合率および圧力を変えることにより、投影レンズ1の屈折率を変化させてその倍率を補正する。

Claim (excerpt)：

レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための投影レンズのレンズ間に屈折率の異なる2種類以上のガスを供給し、前記ガスの混合率を変えることにより投影レンズの屈折率を変化させてその倍率を補正する投影レンズ倍率補正方法。

IPC (6)：

G02B 15/00 ,  G02B 3/12 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/34 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027