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J-GLOBAL ID：200903050284436345
感光性組成物及びそれを用いたパタン形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996008958
Publication number (International publication number)：1997197669
Application date： Jan. 23, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】リソグラフィー技術を用いてパタン形成を行う際、露光光の基板からの反射で起きるパタン寸法の変動,変形を解決するために、レジスト材料の下層に吸収の大きい反射防止層を用いる。この際、中間層に水溶性の薄膜を用いると上層下層レジスト間で剥離が起きやすく微細パタンの形成ができない。【解決手段】基板上にネガ型フォトレジスト膜を形成し、前記ネガ型フォトレジスト膜上に、側鎖にアルデヒド基を持つ水溶性ポリビニルアルコール誘導体と光酸発生剤を含む感光性組成物からなる膜を形成し、さらにその上に別のネガ型フォトレジスト膜を形成し、所望のパタンの露光を行う。
Claim (excerpt)：
側鎖にアルデヒド基を持つ水溶性ポリビニルアルコール誘導体と光酸発生剤を含むことを特徴とする感光性組成物。
IPC (7)：
G03F 7/033
, C08F 8/00 MFZ
, C08F 16/04 MKV
, C08L 29/04 LGW
, C08L 29/14 LHA
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/033
, C08F 8/00 MFZ
, C08F 16/04 MKV
, C08L 29/04 LGW
, C08L 29/14 LHA
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
