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J-GLOBAL ID：200903050286657594

インク噴射装置の製造方法

Inventor： 大橋 弓子
Applicant, Patent owner： ブラザー工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995060336
Publication number (International publication number)：1996258273
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 駆動電圧が小さく、小型化が可能で、各アクチュエータ部の位置決めを不要とすること。【構成】 まず、複数の円筒21が所定間隔導電性基板11上に立ち並ぶニッケル製の原盤10を作製する。次に、原盤10の円筒21上にチタン製の導電層3aを形成する。次に導電層3a上から円筒21に圧電セラミックス層2aをチタン酸ジルコン酸鉛ゾルゲル液を用いて作製する。続いて圧電セラミックス層2a上にチタン製の導電層3、圧電セラミックス層2bと積層していく。次に、積層された複数の円筒部を樹脂によって一体化し、ニッケルからなる原盤10を塩化第二鉄溶液によりウェットエッチングして溶出させる。すると、円筒21に対応する部分が中空部となり、インク室が形成されると共に、導電層及び圧電セラミックス層からなるアクチュエータ部が作製される。

Claim (excerpt)：

インク供給源からインクが供給される複数のインク室と、電極に電圧が印加されることによって前記インク室内の容積を変化させてインクを噴射させるアクチュエータ部とを有するインク噴射装置の製造方法において、複数の筒状部を有する原盤を作製する第一工程と、前記原盤の少なくとも筒状部を、圧電セラミックスのゾルゲル液に付着させて圧電セラミックス層を形成する第二工程と、前記圧電セラミックス層の複数の筒状部を一体化する第三工程と、前記原盤を溶融して、前記原盤の筒状部に対応する部分を中空部として、前記インク室を形成すると共に、前記圧電セラミックス層を含む複数の前記アクチュエータ部を作製する第四工程とからなることを特徴とするインク噴射装置の製造方法。

IPC (4)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22

FI (3)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z