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J-GLOBAL ID：200903050323928846

プローブ用導電性微粒子、その製造方法及び導電検査用プローブ

Inventor： 小寺 嘉秋 ,  鵜飼 和男 ,  神吉 和彦
Applicant, Patent owner： 積水フアインケミカル株式会社
Agent (1)： 九十九 高秋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998129186
Publication number (International publication number)：1999329059
Application date： May. 12, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 厚膜の貴金属被覆層を有する耐久性に優れたプローブ用導電性微粒子を提供する。【解決手段】 平均粒子径が10〜1000μmの球状高分子粒子の表面に貴金属被覆層が形成されてなるプローブ用導電性微粒子であって、前記貴金属被覆層の厚みが、前記球状高分子粒子の半径の0.01〜0.4倍であるプローブ用導電性微粒子。

Claim (excerpt)：

平均粒子径が10〜1000μmの球状高分子粒子の表面に貴金属被覆層が形成されてなるプローブ用導電性微粒子であって、前記貴金属被覆層の厚みが、前記球状高分子粒子の半径の0.01〜0.4倍であることを特徴とするプローブ用導電性微粒子。

IPC (3)：

H01B 1/00 ,  C25D 7/00 ,  G01B 21/30

FI (3)：

H01B 1/00 C ,  C25D 7/00 R ,  G01B 21/30 Z