Pat

J-GLOBAL ID：200903050346488274

導電性又は磁性薄膜を有するシート状被加熱物のマイクロ波による加熱方法及び装置

Inventor： 岡本 正 ,  小田島 博道 ,  松尾 英治 ,  孫 冰
Applicant, Patent owner： 株式会社IDX
Agent (1)： 大塚 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005034165
Publication number (International publication number)：2006221958
Application date： Feb. 10, 2005
Publication date： Aug. 24, 2006
Summary：

【課題】、導電性薄膜あるいは磁性薄膜を含むシート状被加熱物を高効率でかつ均一に加熱する新しい手段を提供すること。【解決手段】 TM110モードの電磁界を発生する空胴共振器4内に、導電性薄膜あるいは磁性薄膜を含むシート状被加熱物1を挿入し、導電性薄膜あるいは磁性薄膜内に発生する電界と電流を利用して、これを直接又は間接的に加熱する。薄膜の表面抵抗の大きさに応じて空胴共振器4内への挿入位置を変更できるように構成する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

薄い基板2上に1層または複数層の薄膜3が形成され、この薄膜3のうちの少なくとも1層が導電性又は磁性の薄膜であるシート状被加熱物1の加熱方法であって、 第1ないし第6の6つの側壁4a・・・4fを有する直方体状空胴共振器4の互いに対向する第5,第6の2側壁4e,4fにほぼ垂直で、残りの4側壁4a,4b,4c,4dにほぼ平行なマイクロ波電界を発生させる工程と、 前記空胴共振器4内における前記マイクロ波電界にほぼ平行な第3,第4の側壁4c,4dから任意の距離だけ離れた位置において、当該側壁4c,4dに対して平行に、空胴共振器4内に前記シート状被加熱物1を通過させる工程と、 前記空胴共振器4内に発生する電磁界で前記シート状被加熱物1を加熱する工程と、を含むことを特徴とするマイクロ波によるシート状被加熱物の加熱方法。

IPC (3)：

H05B 6/64 ,  H05B 6/78 ,  H05B 6/80

FI (3)：

H05B6/64 D ,  H05B6/78 ,  H05B6/80 Z

F-Term (12)：

3K090AA01 ,  3K090AA02 ,  3K090AB18 ,  3K090AB20 ,  3K090BB09 ,  3K090BB16 ,  3K090BB18 ,  3K090CA02 ,  3K090CA08 ,  3K090EA04 ,  3K090PA00 ,  3K090PA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 米国特許第6,365,885号
  

Cited by examiner (3)

• マイクロ波加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-380339   Applicant：東京電子株式会社
• 特開平4-230993
  
• 基板カセット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-172784   Applicant：株式会社ニコン