Pat

J-GLOBAL ID：200903050371836171

含フッ素アクリレート誘導体とその製造法、およびそれを用いた高分子化合物

Inventor： 角田 真一 ,  小森谷 治彦 ,  前田 一彦
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001226582
Publication number (International publication number)：2003040926
Application date： Jul. 26, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 幅広い波長領域での高い透明性を有し、基板への密着性、エッチング耐性や高い成膜性を併せ持つ新規な重合性単量体、およびそれを用いた高分子化合物、さらにはその高分子化合物をコーティングした反射防止材料またはレジスト材料の提供。【解決手段】 式(1)に示すビシクロヘプチル基をもつ新規な含フッ素アクリレート誘導体およびそれらの単量体を用いた高分子化合物、さらにその高分子化合物を用いた反射防止材料またはレジスト材料。(式中、Rはフッ素原子あるいは炭素数1〜10のフッ化炭化水素基を表す。)

Claim (excerpt)：

一般式(1)【化1】(式中、Rはフッ素原子あるいは炭素数1〜10のフッ化炭化水素基を表す。)で表される含フッ素アクリレート誘導体。

IPC (4)：

C08F 20/22 ,  C07C 67/04 ,  C07C 69/653 ,  G03F 7/039 601

FI (4)：

C08F 20/22 ,  C07C 67/04 ,  C07C 69/653 ,  G03F 7/039 601

F-Term (42)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006AC48 ,  4H006BJ30 ,  4H006BM10 ,  4H006BM71 ,  4H006KA11 ,  4J100AJ09Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL05Q ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09Q ,  4J100AL26P ,  4J100AM02Q ,  4J100AM15Q ,  4J100AM21Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC09Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 透明性化合物、透明性樹脂およびこの透明性樹脂を用いた感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物を用いた半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-113503   Applicant：三菱電機株式会社
• 特開平4-284404