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J-GLOBAL ID：200903050375841374

ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法

Inventor： 川上 義男 ,  鵜澤 昭彦
Applicant, Patent owner： 光研工業株式会社 ,  株式会社ユーティーケー・システム
Agent (1)： 福田 武通 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997198229
Publication number (International publication number)：1999033886
Application date： Jul. 24, 1997
Publication date： Feb. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ガラスディスクの内周面加工を効率よく、また低い設備コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まりも向上させる。【解決手段】 ドーナツ状に中心孔31を有するガラスディスク3aの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置1において、ガラスディスク3aを積層してセッティング可能でかつその積層ガラスディスク3を中心軸回りに回転可能とするワークセッティング部2と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ7と、軸付研磨ブラシ7をその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部60と、軸付研磨ブラシ7を積層ガラスディスク3の中心孔31に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動駆動部80と、を有する、ことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

ドーナツ状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置において、上記ガラスディスクを積層してセッティング可能でかつその積層ガラスディスクを中心軸回りに回転可能とするワークセッティング部と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、上記軸付研磨ブラシを上記積層ガラスディスクの中心孔に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動駆動部と、を有し、上記ワークセッティング部で積層ガラスディスクを回転させるとともに、上記軸付研磨ブラシを往復動させつつ上記積層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させ、その軸付研磨ブラシで積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにした、ことを特徴とするガラスディスク内周研磨装置。

IPC (3)：

B24B 5/06 ,  B24B 9/00 601 ,  B24B 29/00

FI (3)：

B24B 5/06 ,  B24B 9/00 601 J ,  B24B 29/00 F