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J-GLOBAL ID：200903050376462750
スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998035898
Publication number (International publication number)：1998298754
Application date： Feb. 18, 1998
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 放電開始圧力以下で安定したスパッタリングを実現することにより、スパッタ用不活性ガスとの衝突によるスパッタ粒子の散乱を少なくすることにより、ステップカバレ-ジを改善し、スパッタ膜の緻密性を改善することができるスパッタリング用電源装置を提供すること。【解決手段】 スパッタリング用直流電源Aと、この直流電源に接続される定電流回路Bと、この定電流回路Bに接続されるスパッタ源21と、上記定電流回路から出力される電流を定電流となるように制御する制御部11とを備えたことを特徴とするスパッタリング用電源装置である。
Claim (excerpt)：
スパッタリング用直流電源と、この直流電源に接続された定電流回路と、この定電流回路に接続されたスパッタ源と、上記定電流回路から出力される電流を定電流となるように制御する制御部とを備えたことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
IPC (2)：
FI (3)：
C23C 14/34 T
, C23C 14/34 U
, H01L 21/203 S
