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J-GLOBAL ID:200903050378044971

多焦点部材及び集中/発散ノズルを用いたレーザビーム切断方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003522746
Publication number (International publication number):2005500170
Application date: Jul. 12, 2002
Publication date: Jan. 06, 2005
Summary:
【課題】レーザービーム(3,13,23)による物質(切断される試料)の切断方法、及びその方法を実施する装置を提供すること。【解決手段】レーザービーム(3,13,23)が走行し、レーザービーム補助ガス流が流れる集中/発散ノズル(2)と組合せて、幾つかの別々の焦点(FP1,FP2)にレーザービーム(3,13,23)を収束させるように、レンズ等のような少なくとも1つの多焦点光学手段(1)を用いること。【選択図】図1
Claim (excerpt):
レーザービーム(3,13,23)が走行し、レーザービーム補助ガス流が流れる集中/発散ノズル(2)と組合せて、幾つかの別々の焦点(FP1,FP2)にレーザービーム(3,13,23)の焦点を結ぶように、少なくとも1つの多焦点光学手段(1)を用いる、レーザービーム(3,13,23)による物質の切断方法において、 前記光学手段は、レーザービームを中央サブビームと周辺サブビームに分割し、中央サブビームは第2の焦点(FP2)に焦点を結び、周辺サブビームは第1の焦点(FP1)に焦点を結び、 前記光学手段は、少なくとも、切断される試料の上面に近接して、好ましくは前記上面と一致するように、又は前記上面に近接する領域における切断される試料の厚さ内に位置する、第1の焦点(FP1)、及び切断される試料の下面に近接して、かつ試料の厚さ内に又は前記下面を越えて位置する第2の焦点(FP2)を得るように設計されていることを特徴とする物質の切断方法。
IPC (4):
B23K26/00 ,  B23K26/04 ,  B23K26/06 ,  B23K26/14
FI (4):
B23K26/00 320A ,  B23K26/04 C ,  B23K26/06 C ,  B23K26/14 Z
F-Term (13):
4E068AE01 ,  4E068CA11 ,  4E068CB08 ,  4E068CD04 ,  4E068CD11 ,  4E068CD13 ,  4E068CH03 ,  4E068CH07 ,  4E068CJ01 ,  4E068CJ04 ,  4E068DB01 ,  4E068DB04 ,  4E068DB15

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