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J-GLOBAL ID：200903050382568594

位相差測定方法およびそれを用いた光学部品の位相差測定装置

Inventor： 仲尾 武司 ,  大西 邦一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998170764
Publication number (International publication number)：2000002652
Application date： Jun. 18, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、光学軸の方向が不明の試料であっても、位相差と光学軸方向を特定できる、簡易な測定方法およびその方法を用いた光学部品の位相差測定装置を提供することにある。【解決手段】本発明においては、被測定試料に直線偏光を入射し、同試料透過光の偏光状態を測定する。一般に、位相差のある試料を透過した光ビームは楕円偏光となるので、楕円率および楕円長軸と入射した直線偏光のなす角度を測定することにより、被測定試料における光学軸の方位と位相差が算出できる。

Claim (excerpt)：

光源と、被測定試料と、検光子を少なくとも有し、前記被測定試料に直線偏光を入射させるとともに、前記被測定試料を透過した光ビームの楕円率εと、入射光偏光方向に対する前記楕円の長軸方向との傾き角θmaxから、前記被測定試料の位相差Δと光学軸方位角αを同時に求めることを特徴とする光学部品の位相差測定方法。

IPC (3)：

G01N 21/23 ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/02

FI (3)：

G01N 21/23 ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/02 Z

F-Term (7)：

2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059MM01