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J-GLOBAL ID：200903050384792033
粒子誘起X線分析装置用イオンビームの測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
大塚 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995311715
Publication number (International publication number)：1997113700
Application date： Oct. 17, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 粒子誘起X線分析装置におけるイオンビームを真正面から正確、簡便に観察でき、かつその電流量をも測定できるイオンビームの測定装置を提供する。【解決手段】 分析チャンバー23のイオンビーム進行方向正面位置に、ケース2を気密に取付け、このケース2にイオンビームの導入路5を設ける。ケース2のイオンビーム導入路5の途上に、直交方向に円柱状の電流測定杆3を気密に、かつ軸周りに回転できるように取付ける。電流測定杆3に、軸心直交方向のイオンビーム通過孔8を形成する。この電流測定杆3よりイオンビームの進行方向側のイオンビーム導入路5上に、発光体薄膜を備えた透明な発光板4を外部から観察できるように設ける。電流測定杆3の2つの異なる回転角度の一方で、イオンビームを遮ってその電流を測定し、他方でイオンビーム通過孔8を介してイオンビームを発光板4へ到達させ、発光体薄膜の発光プロフィルを正面から観察する。
Claim (excerpt)：
イオンビームを分析チャンバー内に導入し、試料に照射して粒子誘起X線分析を行う分析装置におけるイオンビームの性状を測定する装置であって、イオンビームの導入路を有し、前記分析チャンバーのイオンビーム進行方向正面位置に気密に取付けられたケースと前記ケースのイオンビーム導入路を直交方向に横断して、軸周りに回転自在に、気密に取付けられ、軸心直交方向のイオンビーム通過孔を有する円柱状の電流測定杆と、イオンビームを受けて発光する発光体薄膜を備え、前記ケースのイオンビーム導入路上の、前記電流測定杆よりイオンビームの進行方向側であって、ケースの外側から発光プロフィルを観察可能な位置に、気密に取付けられた透明な発光板とを具備し、前記電流測定杆は、所定の回転角度位置において前記ケースのイオンビーム導入路と軸心を一致させて、イオンビームを前記発光板へ到達させ、他の所定の回転角度位置においてイオンビームを遮って、電流量を測定可能であることを特徴とする粒子誘起X線分析装置用イオンビーム測定装置。
IPC (3)：
G21K 5/04
, G21K 5/00
, G01N 23/223
G21K 5/04 C
, G21K 5/00 R
, G01N 23/223
Cited by examiner (6)
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