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J-GLOBAL ID：200903050401920350

透明導電膜

Inventor： 海老沢 純一 ,  佐藤 一夫 ,  光井 彰 ,  安達 邦彦
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993224673
Publication number (International publication number)：1994187833
Application date： Sep. 09, 1993
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【構成】ZnO膜中にガリウムを添加しその添加量を特定の範囲(ガリウムが亜鉛に対して0.1原子%以上15原子%以下)に制御し、かつ導電膜のX線回折線の半値幅が1.2度以下になるように膜の結晶性を制御した透明導電膜および該透明導電膜を有する透明発熱体。【効果】従来の膜に比べて大気中での耐熱性が大幅に優れ、かつ導電性が改善された透明導電膜を提供できる。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であって、該透明導電膜は、ガリウムを亜鉛に対して0.1原子%以上15原子%以下含有し、そのX線回折パターンにおいて(002)面による回折ピークを有し、(002)面による回折線の半値幅が1.2度以下であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5)：

H01B 5/14 ,  C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 31/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-141909
  
• 特開平1-133961
  
• 特開昭62-122011
  
• 特開昭62-154411