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J-GLOBAL ID：200903050413239888

廃液の分別回収方法及びその装置

Inventor： 尾花 孝一 ,  雪田 浩二 ,  樫原 稔 ,  平 久男
Applicant, Patent owner： 日立プラント建設株式会社 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218817
Publication number (International publication number)：1993057271
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、簡単な構造で自動的に廃液の分別回収が出来る方法及びその装置を提案する。【構成】 本発明では、作業タンク16、18からの使用済溶剤は第1検知手段66により溶剤の種類が特定され、溶剤の種類により第1切換弁30が作動し、廃液は対応する中間タンクに一時的に貯留される。即ち、廃液は対応した種類毎の中間廃液タンク20、22に貯留され、洗浄液は中間混合液タンク24に貯留される。また、中間タンクが廃液で満たされると、廃液は中間タンクから最終タンクに向けて送られる。最終タンクは、各溶剤ごとの最終廃液タンク40、42と最終混合液タンク44とが設けられ、第2検出手段68により第2切換弁54を切換えて廃液ごとに対応する最終タンクに分別回収される。

Claim (excerpt)：

2種類以上の廃液容器からの廃液を、種類ごとに分別して各回収タンクに回収する廃液の分別回収方法に於いて、洗浄液又は、廃液容器から流下する最初の廃液により管内の残存液を洗浄すると共に、この洗浄した液を混合液タンクに回収し、廃液容器からの廃液を廃液の種類ごとに回収タンクに回収することを特徴とする廃液の分別回収方法。

IPC (2)：

C02F 1/00 ,  F24F 7/06