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J-GLOBAL ID：200903050417894821
静電容量式加速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995067700
Publication number (International publication number)：1995318583
Application date： Nov. 15, 1988
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：
【要約】【目的】 生産性に優れ、高性能で低コストの静電容量式加速度センサを提供すること。【構成】 加速度に応じて変位する可動電極部が形成されたシリコン板2を用い、このシリコン板の可動電極部に所定の間隙を介して対向させた固定電極部との間での静電容量変化により加速度を検出する方式の静電容量式加速センサにおいて、上記シリコン板2のダイシング面に導電ペースト部37を設け、これにより、ボンディング・パッド9との間に、外部の信号処理回路との電気的接続手段が形成されるようにしたもの。【効果】 導電ペースト部37は、加速度センサの端子接続部となるボンディング・パッド9を、シリコン板2以外の部分、つまりガラス板26の表面に形成することができるようにするので、容易に、しかも確実に検出部と外部との接続を行なうことが出来る。
Claim (excerpt)：
加速度に応じて変位する可動電極部が形成されたシリコン板を用い、このシリコン板の可動電極部に所定の間隙を介して対向させた固定電極部との間での静電容量変化により加速度を検出する方式の静電容量式加速度センサにおいて、上記シリコン板のダイシング面に、外部の信号処理回路との電気的接続手段を設けたことを特徴とする静電容量式加速度センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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