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J-GLOBAL ID：200903050420204593

マイクロレンズの製造装置及び製造方法

Inventor：
小松 教幸

About 小松 教幸


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999090018
Publication number (International publication number)：2000280367
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 10, 2000
Summary：
【要約】【課題】 マイクロレンズの製造において、従来行われていたマスク形成、マスク除去、洗浄処理などを不要にすることによって製造時の工数を低減し、また、効率的な製造方法を実現できる装置構成によって、生産性を向上させるとともに製造コストを低減する。【解決手段】 最初に基板20に予め表面処理を施し(表面処理工程a)、次に、基板20の表面20a上に吐出ヘッド21によって未硬化樹脂からなる液滴22を滴下させる(液滴付着工程b)。このとき、基板20の表面20a上には、表面20aに対する未硬化樹脂の濡れ性や未硬化樹脂の表面張力によって凸曲面状に盛り上がるように形成された表面を備えた液滴22が付着する。そして、基板20の表面20a上に配列された液滴22を硬化させ、マイクロレンズ23を形成する(樹脂硬化工程c)。
Claim (excerpt)：
未硬化樹脂の液滴を基板上に付着させ、付着した前記樹脂を硬化させることによりマイクロレンズを形成するための、少なくとも前記液滴を前記基板上に付着させるマイクロレンズの製造装置であって、前記液滴を下方に向けて吐出可能な吐出ヘッドと、該吐出ヘッドの下方に対向配置された基板支持体と、前記基板支持体を略水平な第1方向に移動可能に構成するとともに該第1方向に沿った複数の位置に位置決め可能に構成する第1移動手段と、前記吐出ヘッドを前記第1方向と交差する略水平な第2方向に移動可能に構成するとともに該第2方向に沿った複数の位置に位置決め可能に構成する第2移動手段とを備えていることを特徴とするマイクロレンズの製造装置。
IPC (2)：
B29D 11/00 ,  G02B 3/00
FI (2)：
B29D 11/00 ,  G02B 3/00 A
F-Term (12)：
4F213AA44 ,  4F213AH74 ,  4F213AP06 ,  4F213AP14 ,  4F213AR07 ,  4F213AR15 ,  4F213WA02 ,  4F213WA31 ,  4F213WA97 ,  4F213WC02 ,  4F213WF01 ,  4F213WF29
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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