樹脂封止金型の洗浄方法およびその装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997126965
Publication number (International publication number)：1998315243
Application date： May. 16, 1997
Publication date： Dec. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】樹脂封止金型の洗浄方法およびその装置において、苛酷な人的な作業を必要とすることなく比較的に短時間で有機系物質および無機系物質を含む汚れ物質を人体に悪影響を及ぼすことなく金型から除去する。【解決手段】離間する上型11aと下型11bとの間に箱体9を挿入し、オゾンを発生させる波長の短かい光を含まない紫外線を照射するとともに圧縮空気を金型面に吹き付け、金型面に付着する汚れである有機物および無機物を除去する。

Claim (excerpt)：

樹脂封止金型表面に付着する有機系物質および無機系分質を含む汚れを除去する樹脂封止金型の洗浄方法において、前記樹脂封止金型の上型および下型を離間させ、前記上型の表面と前記下型の表面との間に閉鎖空間を形成し、前記上型および前記下型のそれぞれの該表面に前記閉鎖空間の中から200nm以下の波長の光を含まない紫外光線を照射するとともに前記紫外光線が照射される前記汚れを前記閉鎖空間内で圧縮空気で吹き飛ばし前記閉鎖空間外に排出することを特徴とする樹脂封止金型の洗浄方法。

IPC (3)：

B29C 33/72 , H01L 21/56 , B08B 7/00

FI (3)：

B29C 33/72 , H01L 21/56 T , B08B 7/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光照射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-178067 Applicant：株式会社オーク製作所
ロール表面の洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-151856 Applicant：三菱重工業株式会社
表面処理加工を行った金属の乾燥方法、及び表面処理加工を行った金属の乾燥装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-126226 Applicant：有限会社光電鍍工業所

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