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J-GLOBAL ID：200903050458807682

薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー

Inventor： 藤生 尚光 ,  渡辺 俊二
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993175368
Publication number (International publication number)：1995027559
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 小型化かつ操作性に優れた、原子間力顕微鏡等に用いられるカンチレバーを提供する。【構成】 カンチレバーの可撓性プレート上に、それぞれ下部電極、圧電・電歪特性を持つ中間層、上部電極からなる薄膜型変位センサー及び薄膜型アクチュエータを設ける。

Claim (excerpt)：

可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなり、前記可撓性プレート上に、第1の下部電極、圧電または電歪特性を持つ第1の中間層、及び第1の上部電極からなる薄膜型変位センサーを取り付けたカンチレバーにおいて、前記可撓性プレート上に第2の下部電極、圧電または電歪特性を持つ第2の中間層、及び第2の上部電極からなる薄膜型アクチュエータを設けることを特徴とするカンチレバー。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28