Pat
J-GLOBAL ID:200903050469601750
微細空間にナノ粒子を導入する方法およびその方法を用いて作製された構造体
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人特許事務所サイクス (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001212394
Publication number (International publication number):2003025300
Application date: Jul. 12, 2001
Publication date: Jan. 29, 2003
Summary:
【要約】【課題】 ナノ粒子を微細空間に安定的に且つ高密度に導入可能な方法を提供する。【解決手段】 幅10〜1000nm、深さ10〜1000nmの微細空間を有する基板の表面に、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した1次粒子間の最近接距離をa(nm)および平均粒子サイズをd(nm)とした場合に、aとdの積が0.5〜100であり、且つdが前記基板の空間の幅の1/100〜1/2であるナノ粒子の分散液を塗布する工程を有する微細空間にナノ粒子を導入する方法である。
Claim (excerpt):
幅10〜1000nm、深さ10〜1000nmの微細空間を有する基板の表面に、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した1次粒子間の最近接距離をa(nm)および平均粒子サイズをd(nm)とした場合に、aとdの積が0.5〜100であり、且つdが前記基板の空間の幅の1/100〜1/2であるナノ粒子の分散液を塗布する工程を有する微細空間にナノ粒子を導入する方法。
IPC (4):
B82B 3/00
, B01J 19/00
, B05D 1/12
, B05D 7/24 301
FI (4):
B82B 3/00
, B01J 19/00 K
, B05D 1/12
, B05D 7/24 301 W
F-Term (21):
4D075DA32
, 4D075DB01
, 4D075DB11
, 4D075DB13
, 4D075DB31
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075DC27
, 4D075EA02
, 4D075EB01
, 4D075EC31
, 4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BB02
, 4G075BB08
, 4G075BB10
, 4G075BC10
, 4G075BD16
, 4G075BD26
, 4G075FA20
, 4G075FB12
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