Pat

J-GLOBAL ID：200903050522948384

走査形電子顕微鏡

Inventor： 赤津 昌弘 ,  佐藤 貢
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999062708
Publication number (International publication number)：2000260379
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】断面観察にてフォーカスを合わせを行う場合、試料全体における観察位置の関係を把握することが難しいため、高倍率観察において観察位置を誤判断する場合があった。【解決手段】観察画像と一緒に観察範囲全体画像が表示され、観察範囲全体画像の画面と試料ステージ制御が連動するので、試料全体における観察位置の関係を容易に把握できる。

Claim (excerpt)：

ビームを発生する電子銃と、ビーム光軸上にビームを細く絞る第1収束レンズと第2収束レンズおよび対物レンズと、該ビームを試料上で走査および偏向させる偏向コイルと、該対物レンズ中に該試料を試料ホールダで保持し、ビーム光軸と直交するX軸方向、X軸と直交するY軸方向、およびZ軸方向(ビーム光軸方向)に移動、およびX軸周りに回転可能な試料ステージと、該試料から発生した二次信号を検出する手段と、検出した二次信号を映像信号に変換して表示する手段と、これらの装置を制御する手段を具備したインレンズ方式の走査形電子顕微鏡において、該試料ホールダ上の基準高さとなる平面上に基準マークを設け、該電子銃より発生したビームを第1収束レンズと、第2収束レンズおよび対物レンズで制御する動作モード(以下、強励磁モードと略す)と、該電子銃より発生したビームを第1収束レンズと、第2収束レンズで制御する動作モード(以下、低励磁モードと略す)を有し、該基準マークを該ビームの走査領域に移動させる第一の手順と、前記強励磁モードにより前記基準マークの画像を検出して、該基準マークが該ビームの走査中心に位置するときのステージ座標を登録する第二の手順と、前記低励磁モードにより前記基準マークの画像を検出し、該基準マーク画像が第一の手順で検出した基準マークの画像位置と同じ位置になるように、該ビームの走査領域を補正する第三の手順と、前記低励磁モードにより、予め指定された試料領域を複数の領域に分割して画像を取り込む第四の手順と、第四の手順で取り込まれた複数画像における指定位置から対応する試料ステージの座標を計算する第五の手順と、第五の手順で得られた座標に試料ステージを移動させる第六の手順からなる試料ステージの制御法を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (5)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/21

FI (5)：

H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/21 B

F-Term (9)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001AA06 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033FF03 ,  5C033FF06 ,  5C033MM01 ,  5C033MM07