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J-GLOBAL ID：200903050529219868

ウエハ-及びその製造方法

Inventor： 田辺 敬一朗 ,  関 裕一郎 ,  藤森 直治
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 川瀬 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995162927
Publication number (International publication number)：1996053765
Application date： Jun. 05, 1995
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 表面弾性波素子、半導体デバイス、耐磨デイスクなどに利用するための、基体の上にダイヤモンドを被覆した平坦なダイヤモンドウエハ-を作製すること。【構成】 基体の上に、気相合成法により(111)配向したダイヤモンド膜を形成する。形成後の反りが2μm〜150μmになるようする。これを研磨して、Rmax500Å以下、Ra200Å以下の平滑な面とする。

Claim (excerpt)：

基板と、気相合成法により基板上にコ-テイングされた(111)配向したダイヤモンド膜とよりなり、ダイヤモンド膜は気相合成法により形成された後、研磨によりRmax500Å、Ra200Å以下の面粗度に仕上げてあることを特徴とするウエハ-。

IPC (6)：

C23C 16/26 ,  C30B 25/02 ,  C30B 29/04 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/314