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J-GLOBAL ID：200903050553287890

エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ

Inventor： 野村 修一郎 ,  宮崎 孝雄 ,  大重 貴彦 ,  杉浦 寛幸
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993235205
Publication number (International publication number)：1995091924
Application date： Sep. 21, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 測定対象がたとえ拡散反射特性を有していたとしても、測定対象の表面性状に影響されないエリプソパラメータを測定でき、最終的にこのエリプソメータを用いた膜厚の測定精度を向上させる。【構成】 測定対象14に対して偏光した光を所定角度αで入射させて、この測定対象14からの反射光のうち正反射光成分b1 以外の拡散反射光成分eを抽出して、抽出した拡散反射光成分eをそれぞれ互いに異なる3方向以上の偏光成分に分離し、この分離された3つ以上の偏光成分の光強度からエリプソパラメータψ,Δを求める。

Claim (excerpt)：

測定対象に対して偏光した光を所定角度で入射させて、この測定対象からの反射光のうち正反射光成分以外の拡散反射光成分を抽出して、抽出した拡散反射光成分をそれぞれ互いに異なる3方向以上の偏光成分に分離し、この分離された3つ以上の偏光成分の光強度からエリプソパラメータを求めることを特徴とするエリプソパラメータ測定方法。