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J-GLOBAL ID:200903050581152453
カラーフィルタ検査装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
絹谷 信雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994266557
Publication number (International publication number):1996128920
Application date: Oct. 31, 1994
Publication date: May. 21, 1996
Summary:
【要約】【目的】 色ピクセル毎の欠陥を検出できしかも色ムラをも同時に検出できるカラーフィルタ検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルタ基板1の各色ピクセル2を光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置において、カラーフィルタ基板1を挟み、その主走査方向に配置されたライン光源6とラインセンサカメラ群7からなる光学検出手段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板1とを副走査方向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそのピクセル情報をラインセンサカメラ群7に取り込むステージ同期コントロール手段10と、ラインセンサカメラ群7からの画像情報を取り込んで各ピクセル2の色ムラや欠陥を検出する画像処理装置群9とを備えたことを特徴としている。
Claim (excerpt):
カラーフィルタ基板の各色ピクセルを光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置において、カラーフィルタ基板を挟み、その主走査方向に配置されたライン光源とラインセンサカメラ群からなる光学検出手段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板とを副走査方向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそのピクセル情報をラインセンサカメラ群に取り込むステージ同期コントロール手段と、ラインセンサカメラ群からの画像情報を取り込んで各ピクセルの色ムラや欠陥を検出する画像処理装置群とを備えたことを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
IPC (2):
G01M 11/00
, G02F 1/1335 505
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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カラーフィルターの検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-087071
Applicant:大日本印刷株式会社
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周期性パターンの欠陥検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-245122
Applicant:大日本印刷株式会社
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着色パターンの欠陥検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-263120
Applicant:大日本印刷株式会社
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